① 미래 반도체의 핵심 'EUV', 그 진화의 끝은 어디?(디일렉 장경윤 기자) 1p

펠리클, ALD, 멀티패터닝 등 EUV 기술은 '진화중'
1월12일, 디일렉 주최 EUV웨비나에서 최신 트렌드 소개
한양대 EUV-IUCC 및 포항가속기연구소 석학들이 설명

EUV 시대가 올해 본격 개막한다. 2017년 삼성전자가 7나노급 파운드리 공정에

EUV 장비를 처음 적용한 이후 EUV에 대한 관심은 급속도로 높아졌다.

특히 지난해 극미세 공정개발에 대한 니즈(needs)가 커지면서 EUV 대중화 시점도

성큼 앞당겨지는 추세다.

네덜란드 ASML이 유일하게 만드는 EUV 장비는 '없어서 못팔' 정도다.

삼성전자, SK하이닉스, TSMC, 인텔 등 주요 반도체기업들이 입도선매(立稻先賣)에

나서는 형국이다.

EUV 적용범위도 파운드리에 이어 D램으로 점점 확대되는 모습이다.

삼성전자가 2020년 초 EUV 공정을 적용한 1세대(1x) 10나노 DDR4 D램 양산을 시작

했으며, SK하이닉스도 지난해부터 D램 공정에 EUV 장비를 적용 중이다

1. 멀티패터닝

먼저 D램 공정을 위한 멀티패터닝 기술의 경우 2030년께 나올 전망이다. 

오혜근 한양대 교수는 "EUV 공정이 얼마나 미세한 회로를 구현할 수 있는지는

메모리와 비메모리 반도체를 구별할 필요가 있다"고 말했다.

오혜근 교수는 "TSMC 등 파운드리 업계가 거론하는 3nm 노드는 비메모리반도체인

ASIC(주문형반도체)에 적용되는 얘기다

2. ALD

EUV 공정에서 ALD의 활용도도 높아질 전망이다. 

ALD는 원자층증착법의 약자로, 원자 수준인 1옹스트롬(0.1 nm) 두께로 다층 증착할 수

있는 기술이다.

현재 반도체 업계에서 보편적으로 활용되는 CVD(화학기상증착법) 대비 증착 속도는

느리지만, 반도체 공정이 급격히 미세화되면서 ALD에 대한 중요도가 더 높아지는 추세다.

3. 펠리클

EUV용 펠리클 기술의 진화도 빠른 속도로 진행 중이다.

펠리클은 EUV용 마스크가 오염되는 것을 방지하는 초박막 형태의 소모성 부품이다.

EUV용 마스크 가격이 5억~10억원에 달하는 만큼 업계는 EUV용 펠리클이 필수적으로

도입되어야 한다.

4. 패키징

EUV 공정 도입이 본격화되면서, 필연적으로 수반되는 게 패키징 기술의 진화다. 

김학성 한양대 교수는 "전공정 미세화가 한계에 접어들고, 웨어러블 디바이스와 같은

초소형 기기가 개발되면서 칩을 고밀도로 집적하는 패키징 기술이 부각되고 있다"며

"주요 파운드리 업체들도 패키징의 중요성을 인지하고 있는 상황"이라고 설명했다.

5. R&D 인프라

빠르게 도입되는 EUV 기술과 관련해, 국내 EUV 관련 R&D 인프라닌 미흡하다. 

이상설 포항가속기연구소 박사는 "EUV라는 빛의 특성을 연구할 수 있는 장비를 갖춘

곳은 현재 포항가속기연구소가 유일하다"며 "국내 EUV 연구 활성화를 위한 인프라를

확충하는 게 필요하다"고 지적했다.

② ASML 베를린 공장 화재…반도체 업계 '노심초사'(아이뉴스24 민혜정 기자) 3p

부품 공장 60평 규모 화재 …리드타임 장기화 우려

네덜란드 노광 장비 업체 ASML의 독일 베를린 공장에서 화재가 발생했다.

ASML은 반도체 미세공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비를 반도체

업체에 독점 공급하는 회사다.

반도체 업계에선 이번 화재로 EUV 장비의 리드타임(주문부터 납품까지

걸리는 시간)이 길어질 수 있다는 우려가 나온다.

6일 업계에 따르면 ASML의 EUV 부품을 생산하는 베를리너 글라스

공장에서 3일(현지시간) 화재가 일어났다.

트렌드포스는 "전체 공장 면적 3만2천㎡ 중 200㎡(약 60평) 정도가

피해를 봤다"고 밝혔다.

③ 모건스탠리의 ‘오락가락’ 반도체 전망 ...업계 '한숨' (이코노믹리뷰=박정훈 기자) 4p

빗나간 예상, 이번이 처음이 아니다...?

반도체 시장에 대한 글로벌 투자은행 ‘모건스탠리(Morgan Stanley)’의

전망을 둘러싸고 업계의 불만이 커지고 있다.

시장의 상황과 반대되는 전망으로 투자자들을 혼란에 빠뜨리는가 하면,

최근에는 일관성이 결여된 전망을 내놓으며, 여론의 뭇매를 맞고 있다.

반도체 업계에서는 “분석이 아닌 정황에 근거한 추측이거나 혹은 자신들이

가진 영향력을 이용해 ‘다른 의도로’ 투자업계를 흔들고 있는 것이 아니라면,

이러기도 쉽지 않을 것”이라면서 모건스탠리에 대한 불만의 목소리가

터져 나오고 있다.

모건스탠리는 지난 4일(현지시간) 미국의 CNBC를 통해 2022년 반도체

업계에 대한 전망을 내놨다.

모건스탠리는 “올해 글로벌 반도체 산업은 칩(Chip, 반도체)의 과잉 공급이

그간의 성장세에 영향을 미칠 것이며,

그로 인해 시장의 성장률은 지난해 대비 7.7%로 둔화될 것”이라고 전망했다.

덧붙여서 모건스탠리는 “반도체 제조 기업들은 인프라 확장을 통해 생산의

여력을 계속 확대하고 있다”라면서

“그러나 글로벌 반도체 재고는 지난해 3분기를 기점으로 다시 증가하고 있다”고

분석했다.

모건스탠리는 왜 그랬을까?

반도체 시장의 수요공급 변동 추이, 그와 연동되는 투자계의 전망으로 움직이는

투자 지표들의 상관관계에는 수없이 많은 변수가 개입된다.

즉, 반도체 수급 외에 다른 요인으로 투자의 지표들은 충분히 움직일 수 있다는

것을 의미한다.

그 중에서는 모건스탠리가 삼성전자와 SK하이닉스에 불리할 수 있는 전망을 한

배경에는 최근 악화된 한-일 관계가 반영된 것이라는 해석도 있다.

다른 관점으로는 미국의 ‘테이퍼링(자산매입 축소)’ 기조와 맞물려 글로벌

반도체 시장에 투자된 천문학적 자본은 미국 국내로 유입돼야 했기에 모건스탠리 등

글로벌 은행이 그 트리거의 역할을 했다는 해석도 나온다.

서울대학교 반도체공동연구소 이종호 소장은 “반도체가 세계 경제에 미치는 영향이

점점 커지고 있는 만큼, 그를 둘러싼 거대한 이권이 투자시장을 통해 움직이고 있는

것은 사실이기에 여기에 대해서는 다양한 해석들이 충분히 나올 수 있다”라면서 

“그러나 그 사이에는 너무나도 많은 변수들이 작용하기 때문에, 글로벌 투자은행들의

전망에 어떤 근거가 있는지를 정확하게 파악하는 것은 불가능에 가까운 일”이라고 말했다.

① 전동화 원년, 오미크론보다 車반도체 부족이 더 무섭다(조선 조성우 기자) 8p

2022년 전동화 신차를 앞세워 도약한다는 방침이지만 긍정적으로만 전망할 수 없다는

 분석이 나온다.

차량용 반도체 수급난이 올해도 해소되지 않을 것으로 보여 오히려 오미크론 변이보다

더 큰 장애물로 부각되고 있기 때문이다.

국내 완성차 업계가 지난해 모두 목표 판매량 달성에 실패했다.

현대자동차(이하 현대차)는 지난해 389만981대의 글로벌 판매량을 기록했다.

전년 대비 3.9% 증가한 실적이지만 목표했던 416만대에 미치지 못하는 수치다.

기아는 2021년 한해 동안 글로벌 시장에서 277만7056대를 판매했다.

전년 대비 6.5% 증가했지만 목표치인 기아 292만2000대보다는 적은 기록이다.

올해 글로벌 시장에서 총 432만3000대를 판매하겠다는 목표를 제시한 현대차는